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LAASマイクロアレイを用いたスクリーニング技術の研究
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骨格筋組織破砕のためのマイクロミルの性能向上
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開閉可能な人工生体管デバイス上における血管構築
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シリコンウィスカ単電極モジュールを用いたマウス大脳皮質ニューロン計測
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誘電分散解析用アレイデバイス化計測システムとリポソーム－タンパク質間相互作用の評価
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運動負荷の評価に向けた皮膚表面における乳酸分泌量のリアルタイム計測システム
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LZMWを用いたキネシンによるATP加水分解サイクルの可視化
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光・力・温度複合MEMSセンサによる冷温感を含む質感の評価
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心拍信号検出を目的とした温度補償機能付カテーテル型流量センサの開発
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低水分土壌計測を可能とするシールド電極型土壌インピーダンスセンサの開発
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電磁波による農産物水分量の非破壊動的計測手法の開発とその応用
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肺機能評価を目的としたバスケット鉗子搭載型MEMS流量センサの開発
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A NOVEL PRESSURE SENSOR WITH BUILT-IN OVERPRESSURE PROTECTION UTILIZING THREE-DIMENTIONAL ETCHING AND WAFER-LEVEL STACKING TECHNOLOGY
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低検出限界を目指した電荷蓄積技術を適用したフィルタフリー蛍光検出センサ
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フィルタフリー蛍光センサによる低濃度溶液を用いた励起光と蛍光の同時測定
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口腔内グルコース計測のためのマウスガード型バイオセンサの開発
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運動動作計測を可能とする高耐荷重な靴底3軸床反力分布計測システム
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マイクロ・ナノ医療デバイス
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ポリマーMEMSのプロセス設計
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金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の高感度・高速表面増強ラマン分光
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金ナノロッド構造を用いた光熱変換によるレーザ波長計測マイクロ振動子デバイス
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静電駆動型MEMS光スキャナの振動特性の温度依存性と走査角制御
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柔軟なドライ電極による植物の電気インピーダンス測定
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キャパシタ分割を用いた高感度なMRI用マイクロコイル
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多層膜積層型微細構造による太陽光選択吸収材料
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Au/Siナノピラーアレイを用いた近赤外光シリコン型フォトディテクタ
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反射型ＳＡＷ遅延素子を用いたトルクセンサ
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光・ひずみ複合センサを用いた布の視覚的・触覚的質感評価
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全溶液プロセスによる抵抗変化型メモリと触覚センサ融合記憶デバイス
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低温Al-Al熱圧着ウェハレベル真空封止接合における薄膜Sn層の役割
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多孔質アルミナ製Cs生成源を使ったCSAC用MEMS型ガスセルの開発
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低表面エネルギー材料をモールドとした離形処理フリーナノインプリント法
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極薄圧電ひずみセンサを用いたフレキシブルセンサアレイシートの開発
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海中原子間力顕微鏡 －深海における自己検知型カンチレバーの利用－
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表面実装型集積化MEMSのためのレーザー消去CMOS-LSIマルチプロジェクトウェハへの深いTSVの作製
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