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高速・高感度光受信器の開発に向けた導波路-プラズモン共鳴結合による光閉じ込め効果の解析
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マイクロシステムファブリケーションに向けたウェハ上でのエッチバックリフトオフ(EBLO)によるPDMSマイクロメーターパターニング
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Si/SiO2多層膜ミラーを用いた短波赤外広帯域 MEMSファブリ・ペローチューナブルフィルタ
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低解像度マルチゾーンToFセンサによる浴室内人物位置測定
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環境振動周波数追従型振動発電素子の開発
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NVCダイヤモンドカンチレバーによる一軸応力センシング
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SMA厚膜アクチュエータ型7×7アレイMEMS触覚ディスプレイの触覚提示特性評価
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力覚マイクロフィンガーの曲げ剛性EIに着目した液体金属歪みセンサの高感度化
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マウス神経介入用ワイヤレス刺激デバイスの製作と評価
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Au 薄膜転写による中空マイクロバンプアレイの作製
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Evaluation of the capacity of organic anion and cation transporters in a proximal tubule-on-chip model derived from hiPSC-derived kidney organoids
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電流駆動型グラフェン共振センサによる質量・粒子数マルチモーダル測定
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植物の光合成産物可視化に向けた刺入型スクロースイメージセンサの機能検証
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エラストマーナノシートを用いた二軸ひずみ印加グラフェン共振質量センサの作製と分子質量計測
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気導音と骨導音を同時計測する二層流路型ヒト内耳模倣MEMSセンサの開発
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マイクロ流体デバイスを用いた線維芽細胞との共培養による膀胱上皮成熟過程の再現
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生体データモニタリングのための能動的バイオセンシングマイクロロボットの開発
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フレキシブル基板マイクロニードル電極デバイスを用いた低損傷長期ニューロン計測
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流路多重化によるACナノポア測定のハイスループット化・広帯域化・ロバスト化
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表面増強ラマン分光によるDNAオリゴマー中の単一塩基計測特性評価
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海中での流れ計測のための球形二次元流速センサ
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機械学習基板多重波長測定システム
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超高速撮影を可能とするGe-in-Siピラミッド型電荷収集構造の開発
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金属アシスト化学エッチングを用いた3次元単結晶シリコン加工の安定化
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PF-POF のドライエッチングによるモード間干渉に基づくひずみ感度の向上
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電流検出型表面プラズモン共鳴センサのAu/n-Si Schottky界面における拡散の影響
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ナノスパイアを用いた絶縁層貫通式接続機構の実現
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温度差5℃での熱電発電で回転機予兆診断向け無線センサ端末を駆動可能とする室内光・熱ハイブリット環境発電エネルギーマネジメント回路
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原子時計用MEMSガスセルの量産化を目指した製造・評価技術の新規提案と試作
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チューブ端面にレンズと円周状電極を配置した内視鏡併用型神経電極
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脳内Mg2+計測に向けた刺入型マルチイオンイメージセンサの製作と評価
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窒化チタンを堆積したCMOSイメージセンサのイオン計測特性の評価
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ウェアラブル汗中成分計測システムへの応用を目的としたセンサ挿入型汗収集デバイスの開発
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3次元応力イメージセンサの出力感度向上のための構造体形状の検討
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CMOSマルチケミカルイメージセンサの空間分解能向上のための感応膜形成プロセスの提案と実証
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熱対流抑制マイクロ環境によるシリカ粒子の連続的な光駆動システム
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