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    • 窒化シリコン薄膜窓を有する電子顕微鏡用マイクロチャンバーの開発

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    • 金粒子配列ナノ流路を用いた表面増強ラマン分光分析デバイス

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    • プラズマを用いたシリコン表面ナノ構造の形成と制御

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