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160nm真空紫外光照射による高分子材料の表面改質と固体間直接接合法
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圧縮空気を利用したMEMSマイクロホンの機械的強度評価
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土壌培地内計測を目指した土中水分量・イオン濃度センサ用 インピーダンス計測回路チップの製作と評価
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金属置換クーロメトリーによる微量溶液中成分の高感度検出
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アライメント機構による先端分離型マイクロニードル作製プロセス
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POCTを指向した自律型遠心マルチアッセイデバイスの開発
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IEC(b)電極系を用いた部分放電による絶縁寿命評価に関する研究
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Printed Strain Sensor Array for Application to Structural Health Monitoring
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静電気センシングによる湿潤分布測定の検討
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TiNを用いたMEMSガスセンサ用マイクロヒータの作製と評価
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ATPSを用いた異種モータタンパク質の選択的固定とその評価
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グラフェン素子を用いたインライン型圧力センサ
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Droplet-free Digital ELISA法によるたんぱく質の高感度同時多項目検出
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汎用ディープX線リソグラフィーシステム (BL11)を用いた微細加工特性の検討
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複数の三軸加速度センサを用いた小型無線波浪観測ブイの提案と試作
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接触面の静止摩擦係数と3軸力を同時計測可能なMEMS触覚センサ
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多層化圧電膜によるMEMS触覚デバイス
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NANOTRANSFER METHOD FOR THE FERROELECTRIC FILMS ONTO THE POLYMER SUBSTRAT
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電気集塵装置の放電極におけるワイヤと鋸歯の比較
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Cu-Cr脱合金化法を用いた新規ナノポーラス膜の製作と油中水分センサへの応用
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極薄シリコンピエゾ抵抗素子を用いたフレキシブルな圧力センサ
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接合転写表面平坦化による SUS 基板の大気圧常温接合
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単一細胞分析を指向したナノインプリント製フォトニック結晶ナノ共振器
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経気管支的に肺機能計測が可能な気管支径対応カテーテル型流量センサの開発
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プローブ修飾ナノ粒子を利用したMRSAの高感度バイオセンシングシステムの構築
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針-平板電極系における部分放電の正弦波印加電圧周波数特性の解明-時間経過における特性の変化-
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櫛歯電極における静電ポテンシャルを利用した共振型加速度センサの検討
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神経網型触覚センサ用LSIを用いた温感センシングの提案
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食塩水中でのキャビテーションプラズマの連続放電現象
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微小流体回路融合型水晶発振回路式容量センサを用いた微小液滴のモニタリング
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銀繊維起毛電極を用いたテキスタイル型多極心電ウェア
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Magnetic field sensor based on vacuum packaged cantilever with a mounted magnet
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誘電体バリア放電における蓄積電荷の脱離機構に関する考察
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マイクロミキサの評価を目的とした流路内キャビテーションセンサ
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可視光領域における高感度バイオセンサー応用を指向したプラズモニック結晶の構造検討及び光学特性評価
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非侵襲血圧計測のためのMEMS超音波センサ
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