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磁歪膜を用いた大変位切替型デュアルAFMカンチレバーの形成
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極薄圧電ひずみセンサアレイによる橋梁劣化診断のための動ひずみモニタリング
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TiO2/ポリマーハイブリッド型フォトニック結晶スラブを用いた高感度蛍光イオンセンサの開発
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自律駆動型環境複合センサの開発
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運動動作計測を可能とする高耐荷重な靴底3軸床反力分布計測システム
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チタン薄膜を接合材料として用いた高真空ウエハレベルパッケージ
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波長掃引による多点化したファイバブラッググレーティングの反射スペクトル測定
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近接覚･触覚コンボセンサを用いた周波数変調近接計測
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光コヒーレンストモグラフィを用いた指の汗腺検出の検討
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印刷形成プロセスによるプレナー型加速度センサ集積ウェアラブルデバイス
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水分センサ用ポーラス薄膜成膜条件のコンビナトリアル探索
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マイクロ・ナノ医療デバイス
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くし型電極を用いたススの検出とその再生方法の検討
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電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ
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ポリマーMEMSのプロセス設計
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SOI-MEMS 技術による静電容量式MEMS加速度センサにおける梁形状の検討
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金属酸化膜を用いた微小電気化学センサ用イオンブロッキング電極の研究
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2Dメカニカルメタマテリアル構造を用いた振動発電デバイスの開発
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近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型電動マニピュレータ制御
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金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の高感度・高速表面増強ラマン分光
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広帯域波長可変型-量子カスケードレーザーの開発
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ミネラルウォーターの品質評価のための非接触型水分析センサの開発
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真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価
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金ナノロッド構造を用いた光熱変換によるレーザ波長計測マイクロ振動子デバイス
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対面型吸着層を用いた半導体式薄膜ガスセンサの開発
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静電駆動金ナノグレーティングを用いた光学位相変調器
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静電駆動型MEMS光スキャナの振動特性の温度依存性と走査角制御
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幹部でのAE測定によるアセロラの乾燥ストレス応答評価の検討
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匂いセンシングのための逆オパール型フォトニック結晶アレイの開発
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植物AE測定に適したエレクトレットセンサの製作と特性評価
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ハウス栽培トマトにおけるＡＥ法を用いたストレス応答の評価
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柔軟なドライ電極による植物の電気インピーダンス測定
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磁性薄膜の磁気歪みを利用した歪み・振動センサの開発
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極薄フッ素樹脂エレクトレットの作製と特性評価
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三次元光造形を用いたマイクロ歯車列の製作
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キャパシタ分割を用いた高感度なMRI用マイクロコイル
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