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生体情報の半連続免疫計測のための表面弾性波(SAW)イムノセンサに関する研究
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TPMSを指向した面外振動型エナジーハーベスタへのNdFeB薄膜磁石の応用
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自己組織化に向けた親疎水パターニングによる選択的結合手法の検討
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多層膜積層型微細構造による太陽光選択吸収材料
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高温域で安定な高ゲージ率を示すCr-Al-N薄膜ひずみセンサ
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スプレーコーティングによるPVDF高分子圧電薄膜の成膜および特性評価とコイルばねへの適用
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PDMSを用いた透明な可変マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性の評価
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Au/Siナノピラーアレイを用いた近赤外光シリコン型フォトディテクタ
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乳幼児の口元気流計測を目的とした熱式チューブ型マイクロ流量センサの開発
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液体向けMEMS 微小流量センサの開発
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原子時計チップ開発に向けた卓上原子時計テストベンチによるMEMSガスセルおよびFBAR-VCOの評価
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体内インプラントを想定した流体振動型エナジーハーベスタ
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反射型ＳＡＷ遅延素子を用いたトルクセンサ
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酸化バナジウム薄膜のピエゾ抵抗評価と圧力センサ応用
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Si薄膜被覆金ナノワイヤグレーティング構造の近赤外域光学特性評価
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結晶微粒化を目的とした急冷マイクロリアクタシステムの製作と評価
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光・ひずみ複合センサを用いた布の視覚的・触覚的質感評価
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Neural Probe for Optical Stimulation and Electrical Recordings
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ガラス製マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子合成における粒子径制御
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全溶液プロセスによる抵抗変化型メモリと触覚センサ融合記憶デバイス
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消化管内への留置を目的とした飲み込み型デバイスの検討
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ワイヤレス発振式水晶振動子型熱重量分析センサの開発と評価
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微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価
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低温Al-Al熱圧着ウェハレベル真空封止接合における薄膜Sn層の役割
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超並列電子線描画装置における電子光学系の小型化の検討
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発振器型熱式マイクロ・フローセンサの検討
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多孔質アルミナ製Cs生成源を使ったCSAC用MEMS型ガスセルの開発
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微細な表面形状と摩擦を用いたザラザラ感定量化モデル
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超音波トランスデューサを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層成膜
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フレキシブル基板上への高信頼チップ部品実装技術を用いた生体信号増幅可能な有機トランジスタアンプ
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低表面エネルギー材料をモールドとした離形処理フリーナノインプリント法
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FABRICATION OF PMUT USING SILICON ON NOTHING PROCESS FOR FINGERPRINT SENSOR
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簡易脳波計を用いたハイブリッド型BCIの構築
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極薄圧電ひずみセンサを用いたフレキシブルセンサアレイシートの開発
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SOI ダイヤフラム を用いた MEMS簡素化プロセスの評価
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不純物濃度によるエッチング速度の違いを利用したシリコン3次元構造体の製作
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