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低消費電力心拍抽出ディジタルASIC
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陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ
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可動MEMSデバイスへの光学素子自動アライメント技術
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位置検出機能を内蔵した超小型慣性駆動アクチュエータの検討
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熱応答性流体バルブを集積一体化した圧力駆動アクチュエータ
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動的駆動を利用した低駆動電圧MEMSスイッチの信頼性評価
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PDMSを用いた液圧駆動型可変焦点レンチキュラーレンズ
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化学溶液法を用いたジルコン酸鉛(PZT)厚膜の作製と圧電特性評価
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SMAワイヤを用いた低侵襲医療用能動屈曲機構
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高感度化学分析のための電流直接増幅型レドックスセンサの製作
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ナノロボットを利用したバイオセンシングシステムの構築
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2本鎖DNAへの特異的な金属被覆によるナノワイヤの形成とその電気的特性の評価
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細胞由来リポソームを用いたGPCR－リガンド結合のQCM計測
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圧電ダイアフラム型共振周波数可変超音波センサのポーリングによる感度と周波数制御性の向上
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呼気吸気計測を目的とした自己温度補償型カテーテル流量センサの開発
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ゾルゲルPZT圧電膜の高スループット成膜技術
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イオン性液体を用いたフレキシブル三軸力センサ
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Fe-B-Nd-Nb磁性金属ガラス薄膜を利用した非接触型電流センサの開発
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Cr-Nひずみゲージ薄膜を用いた荷重ベクトルセンサとその応用
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単一MEMSセンサ素子による近接覚・触覚計測手法の検討
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A Long Bar Type Silicon Resonator with a High Quality Factor
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エアロゾル充填によるセンサー用マイクロ熱電変換素子の高熱抵抗化の実現
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電気的接触検知機能付きCMOS-MEMSプローブカードによるウェハーレベルLED素子の高精度測定
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アコースティックエミッション計測のためのカンチレバーを用いた超音波センサの製作と真空中特性評価
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静電駆動型Split-Ring共振子アレイのTHzフィルタ応用
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超並列電子線描画装置のためのピアース型ナノ結晶シリコン電子源アレイの作成
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カリウムイオンイメージセンサによる神経機能解析への応用
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CMOSイメージセンサ技術とＭＥＭＳファブリペロー干渉計を融合した非標識バイオセンサ
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新しい等温圧縮空気蓄電（ICAES)システムによる大規模蓄電
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役に立つMEMSに向けて
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超高齢化社会の医療を支える技術イノベーション
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ICTを活用する地域コミュニティ
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仙台港周辺地域を対象に熱エネルギーセンターを中核とした防災型スマートシティ構想
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細胞折り紙における山折り構造の作製
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