コレクション: 部門大会:【E】センサ・マイクロマシン部門
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レーザプリントパターンをエッチングマスクとするフレキシブル電極作製法
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永久レジストによりviaを保護したMEMS移相器をもつ 準ミリ波帯シリコンハイブリッドフェイズドアレイアンテナの開発
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航空機用透過型光学式油量計の基礎研究
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暑熱下での体調管理のためのウェアラブル温湿度センサ
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親水性パターンを用いた局所決壊式マイクロバルブの開発
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PNダイオード温度センサを集積化した Tuning Fork型MEMS共振器の周波数安定性
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ロール・ピッチ積分ジャイロスコープのための動的バランス面外振動子
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面内磁気異方性の方向制御による磁区転移を利用した高周波機能デバイス
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寒天マイクロ流路デバイスを用いた流路内細菌培養
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生体適合性マイクロ電池のための微細加工プロセスの開発
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イネの根の屈性解析に向けたマイクロ流体デバイス
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皮膚表面の乳酸分泌量リアルタイムモニタリングによる運動負荷の評価
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レドックス型非標識乳酸イメージセンサの製作と薬剤刺激による海馬からの乳酸放出のイメージング
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金ナノ粒子二量体表面増強ラマン分光によるDNAオリゴマーの1塩基検出
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光励起ナノギャップ電極を用いたDNAオリゴマーの光トラップおよび1分子検出
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深さ方向成分分析に対応した非接触型水晶発振回路式複素容量センサの開発
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呼気中アセトン・イソプロパノールの間欠繰返し計測のための バイオスニファに関する研究
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面内圧縮塑性変形スパッタ法によるパラジウム薄膜の水素吸蔵特性の向上
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ウシ血清アルブミンの蛍光を用いたダイズ根圏のダイゼイン計測シートの開発
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Pt-WO3膜とSiマイクロリング共振器を用いた水素ガスセンサー
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ナプスレベルの活動観察に向けた2 μmピッチイオンイメージセンサの開発と 海馬スライス微小領域への応用
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生化学式ガスセンサとガス濃縮装置を用いた経皮エタノールガス計測システム
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液体電解質を用いた新しいシート型トルクセンサ
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金ナノグレーティング構造の光吸収ピーク波長制御による高感度レーザ波長計測マイクロ振動子デバイス
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薄膜磁気インピーダンスセンサの強磁場中における特性と磁区変化
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Fabrication of Cantilever with FeGa/PZT Layers for Magnetic Field Sensor
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PCR法によるDNA増幅用微細流路デバイスの基礎的研究
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コアシェルSiCナノワイヤの電気伝導性に及ぼすシェル表面電位
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フラクタル次元を用いたポンプの音波による状態把握
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指先に温度センサを集積化したマイクロフィンガーロボットによる多点温度計測とその空間温度分布推定への応用
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マイクロモジュラーロボットに向けたサブミリメートルスケール静電着脱機構の検証
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耐熱合金を用いた狭ギャップ熱電子発電素子
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架橋成長Siナノワイヤの熱電特性評価に関する研究
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