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AN OPTIMIZATION TOOL FOR 3D LITHOGRAPHY UTILIZING DMD-BASED MASKLESS EXPOSURE SYSTEM
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Natural Frequency of Bilayer Lipid Membrane Applying for Robust Sensor Design
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繊維状基材マイクロデバイス製造のための円筒露光プロセスの開発
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サファイアの反応性イオンエッチングにおけるマスク材が表面粗さに与える影響
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ワンチップ無線免疫センサのための再構築可能な機能検証チップの試作
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無給電・ワイヤレスSAWマルチセンサの実現に向けた反射器のセンサ化に関する検討
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アルミ薄膜を用いた陽極接合による真空封止技術の開発
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吸引型プラズマエッチング装置によるマイクロ構造のマスクレス形成と評価
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嗅覚アシストマスクを装着した人間の嗅覚探索行動の観察
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Microfabrication based on Carbon Nanotubes-Nickel Composite for Scanning Micromirror
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ポリエチレンテレフタレート(PET)をターゲットとして成膜したスパッタ薄膜の酢酸およびアンモニアガスの吸着特性
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SiOBへの適応を目指した光学自動アライメント技術の開発
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誘電泳動集積法により作製したカーボンナノチューブガスセンサの金ナノ粒子修飾及びアセチレンガス検出への応用
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電位計測アレイを集積化した細胞組織内局所光刺激デバイスの開発
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個人認証機能をもつウェアラブル・ディスプレイ
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UVナノインプリントと異方性ウェットエッチングの組み合わせによるナノスケール極微細構造の作製
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積層ピエゾ素子を用いた加速度センサーの特性評価
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PDMSステンシルマスクを用いたテフロン製マイクロ流体デバイスの作製
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窒化シリコン薄膜窓を有する電子顕微鏡用マイクロチャンバーの開発
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2D Asymmetric Silicon Micro-Mirrors for Ranging Measurements
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未来を変えるトリリオンセンサの衝撃
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シリカ凝集体エレクトレットを用いた薄型加速度センサの製作と特性評価
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シリコンマイクロ／ナノワイヤ：ニューロン・エレクトロニクス・インタフェースデバイスへの応用
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静電噴霧を用いたシリカ凝集体エレクトレットにおける帯電量の向上
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金粒子配列ナノ流路を用いた表面増強ラマン分光分析デバイス
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衝撃圧縮によるシード結晶を含むBi系超伝導体の マイクロ/ナノウィスカーの評価
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分子鋳型層を持つ局在プラズモン共鳴を用いた植物用テルペンセンサ
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可視光通信用受信回路と通信特性の研究
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超薄膜Pt/Tiを用いたブリッジ型水素センサの開発
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スタンダードPZT-MEMSプロセスの提案とデバイス評価
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酸化物半導体薄膜トランジスタを用いた高感度pHセンサの開発
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可視光通信技術を用いたフルカラーLEDアラームの研究
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プラズマを用いたシリコン表面ナノ構造の形成と制御
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