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可動マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性評価
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FeCo系超磁歪材料を用いた小型発電素子の検討
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マイクロフレームジェットデバイスの実現を目指した消炎距離の測定
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リチウムイオン電池正極材料のハイスループット評価法に関する基礎研究
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A new TEM liquid cell with integrated MEMS\nmicrofluidic valve
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エバネッセントモードRF－MEMSフィルタの有限要素解析
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電極付マイクロ流体デバイスの作製と電界発光評価
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マイクロ流体デバイスの熱解析のための白金マイクロヒーターの電気特性
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不純物添加シリコンのインゴット内部における機械特性ばらつき評価
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静電容量型振動子を用いたPMMAの疲労試験
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半導体ナノワイヤ物性評価のためのMEMS-Based Strain Engineering
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DRIE技術により作製したチタン製微小手術針の機械的特性評価
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PARYLENE & PDMS OUTER SHELL MICROCAPSULES FILLED WITH CONTENT HYPERTHERMIA
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ワイヤレスセンサ端末用自立電源の取り組み
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圧電薄膜駆動型超音波振動子アニュラーアレイによる超音波ビーム形成
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導電性液体を用いたウェアラブルセンサ
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光ファイバ圧力センサを搭載した細径臓器灌流カテーテル
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絆創膏型生体モニタリングシステムと組み込みデータ処理アルゴリズム
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マイクロ構造上の面粗さによる強度低下の簡単な見積り方法
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MEMSとTEMを組み合わせた実験系による単接点Ptナノ摩擦のリアルタイム観察
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AEセンサを用いた橋梁モニタリングシステム
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凹凸と摩擦力の相関を取得可能なMEMS横型触覚センサ
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シーソー電極型３軸触覚センサチップのスイッチトキャパシタ回路による動作
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基準面構造を有する高感度MEMS硬さセンサによる柔軟材料の評価
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レンズ一体型超小型非接触温度センサの開発
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ナノ粒子を混合した高性能フッ素樹脂製エレクトレットの開発およびその振動発電への応用題
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Flexible Clamp-type Current Sensor for Monitoring of Electric Consumption
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Ar高周波プラズマ活性化処理による金薄膜を介したウェハ常温接合
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グリーンセンサを用いたオフィスの省エネの取り組み
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センサネットワーク用低消費電力無線通信の開発
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積層圧電素子による発電特性の高出力化
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転写による超平滑表面を用いた金メッキ枠の常温封止接合
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PZT薄膜キャパシタの自己組織化単分子膜を用いた樹脂基板転写手法
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環境系センサーネットワークの実現手法
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ウェアラブルセンシング技術とその応用
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