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近接覚・触覚マルチモーダルセンサの近接検知原理の解析
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熱駆動型金属ナノスリットを用いたマイクロ光学位相変調器
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NFTSナノクラック薄膜を用いた静電容量形水分センサ
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ウェアラブル生体センサとその応用
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超並列電子線描画装置用LSIの設計と評価
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グルコース濃度勾配マイクロチャンバにおけるがん細胞応答の観察
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MEMS熱流束センサによるウェアラブル深部体温計の提案
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熱線式マイクロブリッジMEMSセンサのガス検出特性
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真空中細胞観察のためのSi薄膜窓を有するマイクロチャネル型チャンバー
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MEMS心音センサの研究
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腱様構造付き骨格筋アクチュエータの構築
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PZT薄膜の残留応力を利用した超音波センサ高感度化のためのダイアフラム撓み制御
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還元基修飾インターカレータによる1本鎖／2本鎖DNA複合体の部位特異的金属被覆
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Odor Sensing System Based on Olfactory Receptors and Fluorescent Instrumentation
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ピエゾ抵抗式半導体圧力センサの開発の道のり
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位相シフト法を用いた光センサによる血管モデルの物性特性に関する基礎的研究
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超並列電子線描画装置用アクティブマトリクスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価
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大面積印刷技術を用いた歪み、温度センサ集積人工電子ウィスカー
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造精機能評価用センサプローブの開発に関する研究
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魚群探知機の誕生と発展
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可変周波数アンテナのための大変形貫通流路型液体アクチュエータ
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非対称マイクロミラーによるウェアラブル・ディスプレイ
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構造物モニタリング向けMEMS加速度センサの開発
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ニッケルRF-MEMSスイッチの過渡特性評価
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低消費電力デバイスのための静電駆動型シリコンナノ電気機械スイッチ
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伸縮振動を利用したＰＶＤＦエネルギーハーベスタ
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環境振動発電デバイスのギャップ制御構造の開発
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光学的3次元観察による印刷プロセスの可視化法
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3Dレーザーリソグラフィ技術による繊維状基材用3Dフォトマスクの作製
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3Dプリンタを用いた3Dダイナミックマイクロアレイデバイスの製作
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機能性タンパク質を利用した揮発性化学成分のセンシングシステムの構築とその応用
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イオン液体の電気二重層を利用した振動発電素子の原理検証
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グルコース駆動式の薬物放出システムの高機能化に関する研究
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有機強誘電体薄膜のナノ構造制御と焦電センサ応用
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外部磁場で制御可能な回転式マイクロアクチュエータの作製とマイクロ液滴搬送への応用
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