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UVナノインプリントと異方性ウェットエッチングの組み合わせによるナノスケール極微細構造の作製
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積層ピエゾ素子を用いた加速度センサーの特性評価
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PDMSステンシルマスクを用いたテフロン製マイクロ流体デバイスの作製
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窒化シリコン薄膜窓を有する電子顕微鏡用マイクロチャンバーの開発
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2D Asymmetric Silicon Micro-Mirrors for Ranging Measurements
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未来を変えるトリリオンセンサの衝撃
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シリカ凝集体エレクトレットを用いた薄型加速度センサの製作と特性評価
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シリコンマイクロ／ナノワイヤ：ニューロン・エレクトロニクス・インタフェースデバイスへの応用
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静電噴霧を用いたシリカ凝集体エレクトレットにおける帯電量の向上
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金粒子配列ナノ流路を用いた表面増強ラマン分光分析デバイス
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衝撃圧縮によるシード結晶を含むBi系超伝導体の マイクロ/ナノウィスカーの評価
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分子鋳型層を持つ局在プラズモン共鳴を用いた植物用テルペンセンサ
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可視光通信用受信回路と通信特性の研究
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超薄膜Pt/Tiを用いたブリッジ型水素センサの開発
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スタンダードPZT-MEMSプロセスの提案とデバイス評価
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酸化物半導体薄膜トランジスタを用いた高感度pHセンサの開発
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可視光通信技術を用いたフルカラーLEDアラームの研究
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プラズマを用いたシリコン表面ナノ構造の形成と制御
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マルチ蛍光プローブセンサによる匂い情報特徴量の抽出
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フィルム型電流センサによるセンサネットワークの構築
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金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光
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駆動回路のスイッチングによるホール素子の特性変化を利用した触覚センサ
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ナノロボットを利用したオンチップDNAセンシング
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高精度非接触電流センサの開発
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アンモニアの膜透過性を指標とした新しい細胞膜障害・細胞毒性評価技術の開発
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低電圧駆動の移動電極をもつ12 MHzシリコンMEMS共振器の振動評価
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高分子薄膜における圧電性・強誘電性研究の発展とその応用
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シリコンレゾナント式圧力センサの高耐圧化のための張力制御
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薬剤感受性試験に向けたオプトフルイディックデバイスの構築
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容量計測による衣服型呼吸センサ
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等温核酸増幅の電気化学的リアルタイムモニタリング
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ニューラルネットワークを用いた金属酸化物半導体ガスセンサによる口臭識別
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ＭＥＭＳ光干渉計を利用した表面応力センサにおける分子吸着に対するダイアフラムの変形評価
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結晶異方性ウェットエッチング加工による マイクロピラミッド形状の表面微細構造の作製
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