コレクション: 研究会(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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低電圧・可変ストローク電磁駆動方式アクチュエータの開発
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電極構造・弾性体のレイヤー分離による静電櫛歯型XYステージの高密度化
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有接点SPDT RF-MEMSスイッチ用低電圧駆動静電アクチュエータの開発
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圧電PZT薄膜を用いたRF-MEMSスイッチの開発
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HBCナノチューブに対する誘電泳動-らせん状電流路をもつ超分子系の特性評価-
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ガラス製マイクロチップの光スキャニング接合法の開発
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エバネッセント場を駆動源とする光回転素子
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二次元筋電パターンを計測する柔軟体インタフェース
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ポリスチレン粒子テンプレート法による濃縮・分離用シリカナノ構造体の作成・評価
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マイクロパルスジェットによる小胞形成法
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光制御マイクロ分析システムの提案・試作
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気液分離チップの作成とその気液界面に関する考察
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Ti-Ni薄膜の形状回復力を用いた高接触力MEMSプローブカードの試作
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光通信可変利得等化器応用を目指した静電吸着制御型圧電駆動リニアアクチュエータの集積化
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SU-8 トーションビームによる大口径シリコンMEMSミラー
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形状記憶合金薄膜を用いた触覚提示用垂直駆動型アクチュエータ
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スピンコートシーディング法を用いたPドープダイヤモンドフィールドエミッション源
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波長可変型大面積SR露光システム
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カーボンナノチューブの可視化操作技術の開発
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SU-8の炭化によるパイロポリマーの三次元マイクロ構造の実現
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多機能パッシブ流体バルブの提案と垂直送液の制御
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PDMSを用いたマイクロ流路での2次元SPRイメージング技術の開発
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μTAS用アトマイザの高機能化と数値設計
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PZT薄膜/SUSユニモルフアクチュエータの開発およびマイクロポンプへの応用
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粒子アセンブルにおける液中粒子の付着力評価
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3枚羽根光ミキサーの作製と微小流路への応用
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機械加工とシリコンエッチングによる薬液導入路を持つマイクロニードルアレイの製作
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超音波プローブ用アレイ型振動子の作製
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音叉型水晶振動子を用いた非接触型AFMプローブの設計および製作
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光ファイバ触針走査による表面性状に起因する特徴的波形成分を利用した紙幣の真贋/状態判別
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音響FETによる音響差動増幅回路の構成
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高密度触覚センサのための高感度マイクロ圧力センサの開発
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放送用コンデンサ型シリコンマイクロホンの試作
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センサネットワークのおける電波強度の大小関係情報に基づくノード位置推定
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半導体間に作用するCasimir力の光制御
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