コレクション: 研究会(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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グルコースオキシダーゼを用いたMOSFET型グルコースセンサの開発
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FET動作を用いた増幅型静電容量圧力センサの作製
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コンデンサ型超音波センサにおけるダンピングホールの最適設計
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光触媒機能を有するマイクロリアクターチップ
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シリカナノ粒子の自己集合構造体を応用して作製したプラスチック基板上での電気浸透流ポンプ
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射出成形によるマイクロウエルプレートの開発ガラスプレートインサートPDMS射出成形品
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細胞内操作のためのFIB-CVDによる細胞壁切断ツール及びナノネットの開発
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ナノホールとマイクロバルブを利用した薬物放出制御
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ICP-RIEを用いた成型用微細シリコン型の作製
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集束イオンブーム化学気相成長法を用いたナノ電磁石の作製
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AFM ピンセットによるナノマニピュレーション技術に関する研究
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集束イオンブーム化学気相成長法(FIB-CVD)を用いた3端子ナノマニピュレータ
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赤外分光天体望遠鏡用マイクロシャッタアレイの試作
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2次元光スキャナ用スパイダーレッグ型マイクロXYステージの電気機械的特性解析
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バルクセラミックスPb(Zr,Ti)O3を用いた圧電マイクロアクチュエータの作製
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有接点RF MEMSリレーの開発
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静電駆動式ナノ引張試験デバイスによるカーボンナノワイヤの力学的特性評価
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マイクロミラー設計に向けた厚膜フォトレジストSU-8の粘弾性特性評価
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集束イオンブーム励起化学気相成長法を用いて作製したダイアモンド,ライクカーボンナノスプリングの機械特性
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FIB-CVDによるピラーを用いた多種材料のヤング率測定
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大変位MEMSミラーとPSDを用いた制御機構に関する研究
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Evaluation of Mechanical-Contact-Based Submicron-Si-Waveguide Optical Switch Performance
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Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術
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ナノフォトニクスデバイス制御用薄型櫛歯静電アクチュエータの製作
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Highly Sensitive Hermetically Packaged Microsensor for Photoacoustic Detection
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Development of 3D Parallel Single-Cell Printer Based on Deterministic Encapsulation
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Fabrication of a Thin, High Performance Optical Structure for FRET Imaging
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Fabrication of Micro-Thermoelectric Cooler Based on Electrochemical Deposition
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有限要素法によるロボット用温力感センサヘッドの熱解析
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ロボット応用をめざした摩擦感試験機による評価測定
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エラストマ封止PZT/Siマイクロカンチレバー振動覚センサの試作評価
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柔軟センサを用いた血圧推定における姿勢情報による精度向上の検討
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味覚センサ用脂質高分子膜界面分析のための和周波発生振動分光システムの開発
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共振型3軸磁気センサの設計
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