コレクション: 研究会(論文単位):【E】センサ・マイクロマシン部門
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金対シリコン対向探針を用いたシリコン表面への金ナノクラスターのTEM内散布方法
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ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用
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画像ディスプレィ用ハイパワー・ハンドリングMEMSスキャナ
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CMOS-First,MEMS-Last型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
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結晶異方性ウェットエッチングによるスキャロッピングの選択除去法に関する研究
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アクティブ制御を使った広帯域インテリジェント発電システムの可能性
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両持ち梁を用いたエレクトレットマイクロ発電の研究
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単結晶シリコンのTEM内引張試験法の開発
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アジ化銀微小ペレットの着火・爆轟特性
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ステント実装型流量センサの開発
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MEMSスイッチによる表面弾性波制御機構の開発
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磁気駆動マイクロツールの製作とオンチップ微粒子操作
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静電駆動型大面積MEMSにおける消費電力
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官能基を有するパリレンを固定相に用いたマイクロガスクロマトグラフィカラム
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織物状触覚センサにおける張力の影響
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電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析
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櫛歯アクチュエータの横振動励起とその応用
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曲げモーメント駆動による焦点可変放物面ミラーの設計と製作
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クラスリン依存性エンドサイトーシスのin vitroアッセイのための脂質二重膜アレイ
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積層組立プロセスによる外骨格型マイクロロボットの製作
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鉄系金属/ダイヤモンドの熱化学反応を利用した単結晶ダイヤモンドの加工
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超音波による非接触眼圧計測システムの基礎的研究
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乳癌チェッカー用触診プローブの開発に関する基礎的研究
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表面弾性波を利用したマイクロ流体制御
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電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価
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アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ
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自励・自己検出機能を有する水晶音叉型AFMプローブの開発
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有接点RF-MEMSスイッチ用静電駆動アクチュエータの力学応答解析
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陽極化成とp++エッチストップとを利用したシリコン深堀ウェットエッチング
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金対シリコン異種MEMS針端の接触による金原子移動の実時間観察
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シリコンインターポーザ基板を用いたMEMSセンサシステムの開発
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圧電素子を用いた超高感度共振型センサの測定感度を決定する設計条件について
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中空糸材を用いた静電容量型織物状触覚センサ
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自己クローニング法によるフォトニック結晶を用いた動的光学フィルタ
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シリコン細線光導波路を用いたフォトニックMEMS変調素子の設計と作製方法
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交流電極に誘起されるマイクロ浮力流れ
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