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造精機能評価用センサプローブの開発に関する研究
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魚群探知機の誕生と発展
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可変周波数アンテナのための大変形貫通流路型液体アクチュエータ
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非対称マイクロミラーによるウェアラブル・ディスプレイ
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構造物モニタリング向けMEMS加速度センサの開発
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ニッケルRF-MEMSスイッチの過渡特性評価
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低消費電力デバイスのための静電駆動型シリコンナノ電気機械スイッチ
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伸縮振動を利用したＰＶＤＦエネルギーハーベスタ
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環境振動発電デバイスのギャップ制御構造の開発
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光学的3次元観察による印刷プロセスの可視化法
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3Dレーザーリソグラフィ技術による繊維状基材用3Dフォトマスクの作製
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3Dプリンタを用いた3Dダイナミックマイクロアレイデバイスの製作
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機能性タンパク質を利用した揮発性化学成分のセンシングシステムの構築とその応用
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イオン液体の電気二重層を利用した振動発電素子の原理検証
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グルコース駆動式の薬物放出システムの高機能化に関する研究
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有機強誘電体薄膜のナノ構造制御と焦電センサ応用
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外部磁場で制御可能な回転式マイクロアクチュエータの作製とマイクロ液滴搬送への応用
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チップストリーミングを用いた単一細胞解析に向けた分離可能な液滴の生成
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光リソグラフィーによる酵素パタニングセンサの開発
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金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の表面増強ラマン分光
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界面動電効果を利用したクレッチマン型SPRセンシング法の提案
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マイクロ流路を用いた１分子DNAの凝縮転移のリアルタイム解析
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MEMS技術を用いた超小型師管流センサ
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熱流体環境計測機能を有するガス源探知ロボットの開発－室内気流場の推定－
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親水性保護膜を用いた半導体型ECセンサによる土壌安定測定の実現
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金ナノアンテナ構造の電場増強を用いた高感度蛍光センシング
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低侵襲内視鏡手術での腹腔内モニタリングシステムに向けた 圧力・温度センサデバイスの開発
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2次元非対称シリコンマイクロミラーの高伝達効率化
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3300万画素 120fps CMOSイメージセンサ用2段サイクリック型ADCの高精度・動的デジタル補正
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強誘電エレクトレットを用いた空中超音波センサの製作と特性評価
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プログラマブルデバイスによるセンサフロントエンド構築の視点
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光・ひずみ複合センサによるマルチモーダルな質感計測の基礎検討
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有機酸を用いたSnとNiの低温接合法の開発
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小孔付き半密閉空間を有する光導波型微小圧力センサにおける応答特性の基礎的検討
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超並列電子線描画装置用nc-Si（ナノシリコン）面電子源のための MEMS静電コンデンサレンズアレイの開発
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