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フィルム積層エレクトレットセンサを用いたデュアルセンサの製作と特性評価
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細胞固定化システムを用いた膜タンパク質の機能解析
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液圧駆動内視鏡用径可変フードの開発
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単一神経細胞をモジュールとして扱う神経回路アセンブリ
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材料判別を実現する熱伝導率センサ集積型メッシュ状シリコン触覚イメージャ
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低消費電力貼り付け型センサのためのテンプレートマッチングを用いたロバスト心拍抽出手法の開発
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渦流型マイクロリアクタを用いた尿素センサによる血液透析制御
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残留農薬用センサチップの開発
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慣性計測用MEMSジャイロセンサ
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シリコン微細加工技術を用いた320umピッチの流路を有する 大気圧プラズマジェットアレイの製作と評価
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窒化アルミニウム圧電薄膜を用いた表面弾性波ひずみセンサの開発
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近接覚・触覚マルチモーダルセンサの近接検知原理の解析
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熱駆動型金属ナノスリットを用いたマイクロ光学位相変調器
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NFTSナノクラック薄膜を用いた静電容量形水分センサ
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ウェアラブル生体センサとその応用
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超並列電子線描画装置用LSIの設計と評価
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グルコース濃度勾配マイクロチャンバにおけるがん細胞応答の観察
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MEMS熱流束センサによるウェアラブル深部体温計の提案
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熱線式マイクロブリッジMEMSセンサのガス検出特性
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真空中細胞観察のためのSi薄膜窓を有するマイクロチャネル型チャンバー
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MEMS心音センサの研究
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腱様構造付き骨格筋アクチュエータの構築
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PZT薄膜の残留応力を利用した超音波センサ高感度化のためのダイアフラム撓み制御
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還元基修飾インターカレータによる1本鎖／2本鎖DNA複合体の部位特異的金属被覆
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Odor Sensing System Based on Olfactory Receptors and Fluorescent Instrumentation
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ピエゾ抵抗式半導体圧力センサの開発の道のり
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位相シフト法を用いた光センサによる血管モデルの物性特性に関する基礎的研究
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超並列電子線描画装置用アクティブマトリクスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価
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大面積印刷技術を用いた歪み、温度センサ集積人工電子ウィスカー
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造精機能評価用センサプローブの開発に関する研究
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魚群探知機の誕生と発展
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可変周波数アンテナのための大変形貫通流路型液体アクチュエータ
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非対称マイクロミラーによるウェアラブル・ディスプレイ
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構造物モニタリング向けMEMS加速度センサの開発
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ニッケルRF-MEMSスイッチの過渡特性評価
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