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Pt 超薄膜型水素センサの電流駆動方式の最適化による外乱影響低減
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白金微粒子を坦持した酸化チタンナノチューブ薄膜を用いた 高感度ガスセンサの一酸化炭素応答特性
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深層学習を用いた屋外環境における自動ガス源探索―入力するセンサデータの長さについての検討―
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化学物質を辿る水中ロボットの開発に向けて―7方向迷路におけるザリガニの嗅覚探索行動の観察―
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スパッタリングにより堆積した(La, Y)2O3膜を用いた積層型CO2センサの湿潤雰囲気下でのCO2応答
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ガス拡散を用いた二次元化学センサ応答の較正
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エレクレット超音波センサを用いた物体検出におけるパルス圧縮法の適用
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エレクトレットセンサを用いた植物AE測定における接触条件が感度に及ぼす影響
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積分型MEMSジャイロスコープの高性能化のための非対称性補償の自動化方法
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高感度・広帯域を両立させる応力集中型光MEMS圧力センサの理論解析
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センサ分離型サファイア隔膜真空計の開発
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静電植毛技術を用いた立体アクティブ起毛電極の開発
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非侵襲な尿意検知のためのパンツ一体型センサ
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経気管支的に呼吸および光学画像計測を可能とする カテーテルセンサシステムに関する研究
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点滴システムへの応用を目指したマイクロ流量センサの開発
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高アスペクト比深掘りトレンチの均一な電解めっきを可能とする超臨界流体薄膜堆積法で作製された低抵抗銅薄膜種層
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静電型MEMS加速度センサにおける機械雑音の検討
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エレクトレットを利用した低消費電力静電マイクロスピーカー
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3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ
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フレキシブル基板上でのMEMS流量センサと信号処理回路との一体化に関する研究
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La添加積層PZT素子を用いた振動発電による無線加速度センサの駆動特性評価
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Improving Thermoelectric Properties of Bi2Te3 film with Carbon Black Nanoparticles Inclusion for Micro Thermoelectric Generator Application
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大気圧プラズマ局所エッチングによるトリミング法の基礎検討
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シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベル真空パッケージング技術
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2段階パラメータランピングによる高アスペクト垂直深掘りトレンチの作製
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深紫外LED向けシリコンパッケージング技術の開発
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高分解能イメージセンサ～
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酵母の単離と解析のためのマイクロ流体デバイスの開発
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ガラスフィルムを用いたナノポアデバイスの作製とバイオナノ粒子計測への応用
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SU-8微小開口と真空駆動ポンプの統合による並列マイクロ流体輸送技術の開発
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ソフトリソグラフィ法を用いてマイクロ流路と一体成形可能な3D流体コネクタの開発
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優れた結晶性と緻密な表面を有するSnO2薄膜を用いた高感度ガスセンサ
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分子インプリントゾルゲル法によるインドールの認識膜の開発
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ZnOを用いた有機系浮遊粒子センサの花粉検出特性評価
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誘電泳動集積法により作製したCNT-FETガスセンサの NO2曝露ガス応答におけるオンオフ比向上の効果
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金属酸化物メモリスタのアナログリセットを利用したセンサ過渡特性取得によるガス識別
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