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シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベル真空パッケージング技術
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2段階パラメータランピングによる高アスペクト垂直深掘りトレンチの作製
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深紫外LED向けシリコンパッケージング技術の開発
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高分解能イメージセンサ～
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酵母の単離と解析のためのマイクロ流体デバイスの開発
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ガラスフィルムを用いたナノポアデバイスの作製とバイオナノ粒子計測への応用
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SU-8微小開口と真空駆動ポンプの統合による並列マイクロ流体輸送技術の開発
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ソフトリソグラフィ法を用いてマイクロ流路と一体成形可能な3D流体コネクタの開発
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優れた結晶性と緻密な表面を有するSnO2薄膜を用いた高感度ガスセンサ
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ZnOを用いた有機系浮遊粒子センサの花粉検出特性評価
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誘電泳動集積法により作製したCNT-FETガスセンサの NO2曝露ガス応答におけるオンオフ比向上の効果
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金属酸化物メモリスタのアナログリセットを利用したセンサ過渡特性取得によるガス識別
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多層半導体薄膜を用いたアセトンガスセンサの研究
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ストライプゲート電極型半導体pHセンサによるドリフト抑制の実現
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延長ゲート型a-InGaZnO TFT イオンセンサの応答特性評価
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高温ひずみセンサ用Cr-Al-N薄膜
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銅(I)イソシアニド錯体を含有するPMMA薄膜の光学特性
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疑似Auナノ粒子プラズモン光学フィルタを用いた高感度磁区観察
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シリコンマイクロ振動子光センサにおける共振周波数特性の形状依存性
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反応性スパッタリング法によるCTRサーミスタ用VO2薄膜の作製と評価
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スクイーズ膜圧力分布計測用センサアレイの開発
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液体を薄膜で封止したカンチレバー構造のエナジーハーベスタの研究
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グルコースをエネルギー源とする空気バイオ電池の高出力化
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人の皮膚機能を模倣した電子皮膚とソフトロボットの融合
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確率共鳴現象におけるオーバーサンプリングを用いた検出感度の向上
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地中に埋設したエレクトレットセンサを用いた根圏AEの検出
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金属?誘電体?金属サブ波長格子を利用した可変プラズモニックフィルタの動作検証
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Auナノフィンを応用した面内駆動型光位相差変調素子の開発
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ギャップ変化に基づくプラズモン共鳴シフトを用いた感圧膜の開発
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10MHz以下のバンドギャップを持つフォノニック結晶の作製と評価
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静電面外駆動型金ナノグレーティングに関する研究
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Alサブ波長格子を形成したプラズモニックナノシートの製作
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MEMSプロセスを用いた斜め微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写
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2段電極一体化構造のイオン液体エレクトロスプレースラスタの試作
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ELETROCHEMICAL DEPOSITED TBXDY(1-X)FEY THIN FILM EVALUATED FROM MICROACTUATOR
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