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段差部を持つ基板接合のためのSU-8シートを用いた接合強度評価
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MgHfAl-N薄膜の作製と新しい触覚センサの開発
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機械的接続・電気的絶縁により櫛歯噛み合わせ精度向上したポリマー静電アクチュエータ
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RF-MEMS向け低温硬化型感光性ポリイミド
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疑似蠕動運動による小腸流路デバイス内に生じる流れの観察
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光MEMS圧力センサ用スパッタSiC光導波路の作製と評価
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シリコン犠牲層のXeF2リリースエッチングレート可視化のためのテスト構造
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PDMS可変凹凸マイクロダイヤフラム型ゲート構造を用いた液滴混合デバイスの評価
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潜在的な極低温磁気センシング用途向け多結晶 Fe75Ga25バルク合金の磁歪特性と輸送特性
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ハット&スカート犠牲層を用いた高アスペクト比金属ナノ構造めっきプロセス
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鉄板貫通無線給電技術の社会実装候補の検討とコア材質変更等による効率改善
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皮膚ファントムを用いた極薄ハプティックMEMSデバイスの基礎性能評価
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Antibody Bioresistor for Sensitive Protein Detection Using Metal Nanoparticles
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SiナノワイヤFETによる細胞外小胞の検出
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非加熱液相還元法によって合成した金銀合金ナノ粒子を用いたグルコース検出法
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ポテンショメトリック型pHセンサデバイスとしての金属電極の性能評価
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ポリスチレンコアを用いた膨潤型POFアルコールセンサ
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TiNを用いたMEMS水素ガスセンサの作製と特性評価
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表面増強ラマン散乱センサを用いた混合VOCガス種の識別
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横たわみ検出によりカンチレバー数を削減した3軸MEMS触覚センサの開発
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高精度時刻同期基盤の研究開発におけるスタートポイントと現在地
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たわみを有するマイクロ振動子光センサの計測分解能評価
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ウェアラブル曲げセンサーのための超薄型シリコンひずみゲージのパッケージ構造の開発
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触覚センサの出力増大のためのカンチレバー配置とブリッジ接続法
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触覚センサを用いた非ニュートン流体の粘性および応力緩和評価
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床面振動を用いた屋内空間の位置特定手法に関する研究
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スピン流体積効果によるアクチュエーションの温度効果
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把持力・指動作・身体軌道センシングシステムによるゴルフスイングの視覚化基盤の構築
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ダイナミックエレメントマッチングによる8角形多端子MOSFETセンサの磁界検出
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静電容量式接触センサを用いたアリ検知システムの開発
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EC-SERSプラットフォームを用いた硝酸鉄、硫酸銅、酢酸銅の電気化学反応に関する研究
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ポンピング領域を有する粗視化分子動力学による微細流路内の流動シミュレーション
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強光子場マイクロ合成システムを応用した二核金属錯体の自在な分子構造の制御
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Al添加酸化亜鉛のスプレー熱分解法を用いた成膜方法の検討
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