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極薄PTFE層を有するワイヤ電極の電荷保持特性とエレクトレットセンサへの応用
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冷却型熱式オンチップ流量センサ
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表面処理を用いないシクロオレフィンポリマー流体デバイスの封止方法
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ウエハレベルパッケージ技術による低侵襲医療用極小3軸MEMS触覚センサの作製
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(2-カルボキシエチル) ジフェニルホスフィンを配位子とするヨウ化銅(I)錯体をドープしたDNA-脂質複合膜の光学特性
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異方性エッチングを用いたシリコン梁の加工プロセスの検討
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MEMS振動子アレイの動的応答を利用した時系列信号処理
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呼吸,心拍,体温のマルチバイタルサイン計測を可能とする呼吸センサの開発
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超音波アレイセンサによる高干渉環境下での12.5mの距離計測
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センサプラットフォームLSIを基にしたマルチセンシングシステムを構築するためのアプリケーションプログラミングインタフェースの開発
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触診用MEMS触覚センサの接触部改良による圧力低減
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フィルタフリー多波長検出センサを用いたクロロフィルa/b比計測法の提案
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SEM内その場引張試験用デバイスの開発
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イオン液体エレクトロスプレースラスタのための二段電極構造の作製
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圧電MEMS超音波センサのための 単結晶PZT/Si/内空メンブレン構造の作製プロセスの開発
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800nm帯面発光レーザーのための可動式誘電体多層膜ミラーチップの製作
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電気的・光学的1分子計測に向けた金ナノ粒子二量体ナノギャップの作製・制御・評価
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パリレンを用いたマイクロチューブフレキシブルデバイスの作製
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イオン感応膜によるバイポーラ電極の電位制御
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7.7万個のマイクロウエルを用いたデジタルPCRによる高感度かつ高マルチプレックス遺伝子変異型検出
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高度なマイクロフルイディク溶液処理のための電気化学回路
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イオン選択性可塑化PVC複合型プラズモニックイオンセンサの開発
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乳酸および水素イオンを同時に可視化可能なマルチイオンイメージセンサの製作と海馬スライス細胞外イメージングへの応用
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ハーフインチ径水晶ウエハ上へ成膜したAlN薄膜上への弾性表面波デバイスアレイの試作と評価
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極薄圧電素子のフレキシブルパラメトリックスピーカー応用の検討
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ハズバンダリトレーニング時において計測可能な体動除去アルゴリズムを搭載した心拍センサの開発
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真空封止用Au/Ta/Ti接合層を用いたガス吸収プロセスの開発とその低温化
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低温接合応用をめざしたテンプレートストリッピング法による セラミックス接合面の平滑化
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高感度化座屈ダイアフラム上圧電MEMS超音波センサの振動モード解析
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毛髪の繊細な手触り感変化を取得する低侵襲型高分解能触覚センサの開発
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アレイ状のSMA厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイ機構部の形成
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ビルドアップ法で形成する厚膜磁石を利用した極細モータ
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超小型原子時計の量産化に向けた3.5GHz帯圧電薄膜発振器の研究開発
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汗中乳酸モニタリングシステムによる低発汗時の乳酸分泌動態評価
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