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UVレーザを用いた表面加工によるソフトアクチュエータ(IPMC)の性能向上
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アモルファスタングステンのめっき堆積と評価
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微小液滴アレイの空間融合分離を利用した試薬自動濃度制御
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ダウンサイジングによるスケール効果を考慮したマイクロスケール超音速圧縮機空力性能予測モデル
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支持基板上 AT カット水晶振動子の励振電極形状の最適化
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フレキシブルCMOSイメージセンサの実現に向けたFDSOI湾曲回路の試作と評価
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貫通型横孔マイクロニードルの作製及び注入性評価
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たわみを有する両端固定梁の光応答共振周波数変化の計算
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藻類培養槽における光合成に起因するAEの検出と培養条件がAE発生挙動に及ぼす影響
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ウミガメの対水速度計測のためのピトー管型流速センサロガー
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MEMSイジングマシンの実現に向けた双安定演算素子配列
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シリコンマイグレーションシール(SMS)向け枚葉水素ランプアニール炉の開発:ベースプレッシャーと残留ガス
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三角形平板状金ナノプレートを用いたhCG抗原検査テストストリップの作成
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XYステージ補正機構を備えた2軸MEMSスキャナ
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金属アシスト化学エッチングを用いた単結晶シリコン垂直エッチング
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液体金属を用いた集電体レス・プリンテッドバッテリの開発
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シリコンピエゾ抵抗型素子を用いた光音響センサの設計
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CPT共鳴を用いて安定化された圧電薄膜共振器発振器のミリ波通信用局部発振器への適用可能性
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iPS細胞の分化誘導環境を探索する微小溶液環境区画化デバイスの開発
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高時間分解ACナノポア測定と機械学習による網羅的な細菌の同定
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磁気トルクを利用した高感度磁気センサ
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高圧電定数を示すSm添加PMN-PT単結晶薄膜の スパッタ堆積と組成依存性の調査
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ベクトルビーム変換子を用いた小型高分解能エンコーダ
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硬軟複合剛性ストレッチャブルデバイスと機械学習による手の動作認識
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VO2切り紙薄膜を用いた大変位・多自由度熱駆動MEMSアクチュエータの開発
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フレキシブル超薄膜水素センサの開発
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シリコンウェハーの酸化手法による光伝導度特性
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PZT薄膜アクチュエータとシリコンーパリレン振動板を一体化させた圧電MEMSスピーカの開発
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PZT/ポリマーSiアクチュエータによるポリマー材料の機械的品質係数(Qm)の評価
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側面ドーピングによるMEMS共振子の温度補償法の開発
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電気・薬理・光学的ニューロン計測に向けたパリレン製マイクロチューブデバイスの作製と評価
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バイモーダル「センサチップレット」プラットフォームによるアルブミン・pHマルチ計測
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弾性表面波デバイス基板両面への温度・流量測定のための素子構造の追加作製
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パリレンC薄膜CMOSスマート電極搭載人工視覚デバイスの開発
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神経血管相互作用を利用した大脳オルガノイド構築のためのマイクロデバイス
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