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Cu-Cr脱合金化法を用いた新規ナノポーラス膜の製作と油中水分センサへの応用
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経気管支的に肺機能計測が可能な気管支径対応カテーテル型流量センサの開発
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櫛歯電極における静電ポテンシャルを利用した共振型加速度センサの検討
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銀繊維起毛電極を用いたテキスタイル型多極心電ウェア
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マイクロミキサの評価を目的とした流路内キャビテーションセンサ
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磁歪膜を用いた大変位切替型デュアルAFMカンチレバーの形成
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チタン薄膜を接合材料として用いた高真空ウエハレベルパッケージ
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印刷形成プロセスによるプレナー型加速度センサ集積ウェアラブルデバイス
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電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ
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2Dメカニカルメタマテリアル構造を用いた振動発電デバイスの開発
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広帯域波長可変型-量子カスケードレーザーの開発
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静電駆動金ナノグレーティングを用いた光学位相変調器
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植物AE測定に適したエレクトレットセンサの製作と特性評価
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三次元光造形を用いたマイクロ歯車列の製作
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TPMSを指向した面外振動型エナジーハーベスタへのNdFeB薄膜磁石の応用
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スプレーコーティングによるPVDF高分子圧電薄膜の成膜および特性評価とコイルばねへの適用
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原子時計チップ開発に向けた卓上原子時計テストベンチによるMEMSガスセルおよびFBAR-VCOの評価
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Si薄膜被覆金ナノワイヤグレーティング構造の近赤外域光学特性評価
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Neural Probe for Optical Stimulation and Electrical Recordings
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ワイヤレス発振式水晶振動子型熱重量分析センサの開発と評価
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微細な表面形状と摩擦を用いたザラザラ感定量化モデル
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フレキシブル基板上への高信頼チップ部品実装技術を用いた生体信号増幅可能な有機トランジスタアンプ
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FABRICATION OF PMUT USING SILICON ON NOTHING PROCESS FOR FINGERPRINT SENSOR
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不純物濃度によるエッチング速度の違いを利用したシリコン3次元構造体の製作
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ガラス製マイクロ流体デバイスを用いた単分散金ナノ粒子の合成
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電圧駆動型高分子ナノファイバーアクチュエータの駆動メカニズムの解析
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細胞外電位計測用バッファアンプ搭載型3Dマイクロプローブアレイの製作と評価
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マイクロ流体デバイス中でイオン枯渇領域を用いたエクソソームの濃縮
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ボイコット効果と毛細管流れを用いた血液分離デバイスの開発
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垂直境界面を有する異方性コラーゲンマイクロウェルアレイ
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ヒトiPS細胞由来心筋細胞を用いた薬物応答モデルの構築
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PEDOT/Pt-blackマイクロ電極デバイスによる低電圧神経刺激
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トポロジー最適化手法を用いた３軸加速度センサZ零点安定化の検討
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2軸間感度差を改善したヨーとロール角速度センサ
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環境温度の影響が少ない高精度ひずみセンサの開発
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