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Magnetic field sensor based on vacuum packaged cantilever with a mounted magnet
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非侵襲血圧計測のためのMEMS超音波センサ
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自律駆動型環境複合センサの開発
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近接覚･触覚コンボセンサを用いた周波数変調近接計測
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水分センサ用ポーラス薄膜成膜条件のコンビナトリアル探索
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SOI-MEMS 技術による静電容量式MEMS加速度センサにおける梁形状の検討
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近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型電動マニピュレータ制御
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真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価
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幹部でのAE測定によるアセロラの乾燥ストレス応答評価の検討
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ハウス栽培トマトにおけるＡＥ法を用いたストレス応答の評価
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極薄フッ素樹脂エレクトレットの作製と特性評価
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自己組織化に向けた親疎水パターニングによる選択的結合手法の検討
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PDMSを用いた透明な可変マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性の評価
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体内インプラントを想定した流体振動型エナジーハーベスタ
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結晶微粒化を目的とした急冷マイクロリアクタシステムの製作と評価
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ガラス製マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子合成における粒子径制御
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微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価
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超並列電子線描画装置における電子光学系の小型化の検討
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超音波トランスデューサを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層成膜
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SOI ダイヤフラム を用いた MEMS簡素化プロセスの評価
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フェムト秒レーザ還元焼結を用いたNi合金微細パターン作製
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青色半導体レーザーを用いたマルチスケール・マイクロ光造形装置の開発
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超小型原子時計チップの開発に向けたPLLレス3.4 GHzVCOの設計
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水素発生用電極触媒のコンビナトリアル探索法の確立
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誘電泳動アセンブリにおける金ナノ粒子ダイナミクスのシミュレーション
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高感度MEMS加速度センサー用金電気めっきの変形挙動 および強度の結晶方位依存性評価
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SF6/C4F8ガスを用いたチタンの熱アシスト型反応性イオンエッチング
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耐腐食性・低コスト・低消費電力の特長を有するフローセンサデバイスの開発
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光エネルギーにより駆動するリン酸銀／金マイクロモータ
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竹槍状先端を用いた機能性コアシェルマイクロスプリングの構築
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伸縮可能な‘Kirigami’バイオプローブ電極フィルムの特性評価
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加速度センサを用いた下肢運動計測システムの開発
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初代培養神経細胞の形態制御と回路組み立てを行うための単一神経細胞プレート
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ゲル化イオン液体を用いたエレクトレット振動発電
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インパルス振動に特化したコインサイズエナジーハーベスタ
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【招待講演】ハードウェアニューラルネットワークICとこれを搭載したマイクロロボット
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