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イオン性液体を用いたフレキシブル三軸力センサ
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Fe-B-Nd-Nb磁性金属ガラス薄膜を利用した非接触型電流センサの開発
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Cr-Nひずみゲージ薄膜を用いた荷重ベクトルセンサとその応用
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単一MEMSセンサ素子による近接覚・触覚計測手法の検討
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A Long Bar Type Silicon Resonator with a High Quality Factor
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エアロゾル充填によるセンサー用マイクロ熱電変換素子の高熱抵抗化の実現
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電気的接触検知機能付きCMOS-MEMSプローブカードによるウェハーレベルLED素子の高精度測定
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アコースティックエミッション計測のためのカンチレバーを用いた超音波センサの製作と真空中特性評価
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静電駆動型Split-Ring共振子アレイのTHzフィルタ応用
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超並列電子線描画装置のためのピアース型ナノ結晶シリコン電子源アレイの作成
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カリウムイオンイメージセンサによる神経機能解析への応用
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CMOSイメージセンサ技術とＭＥＭＳファブリペロー干渉計を融合した非標識バイオセンサ
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新しい等温圧縮空気蓄電（ICAES)システムによる大規模蓄電
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役に立つMEMSに向けて
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超高齢化社会の医療を支える技術イノベーション
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ICTを活用する地域コミュニティ
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仙台港周辺地域を対象に熱エネルギーセンターを中核とした防災型スマートシティ構想
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細胞折り紙における山折り構造の作製
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パリレン薄膜セルフアクチュエーター基板を用いたECoG電極アレイの開発
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高アスペクト比シリコンマイクロプローブ電極の怪異的特性評価
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積層筋肉シートによる空気中で駆動可能な筋アクチュエータの構築
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リチウムイオンNanocycleの“その場”観察
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持続可能なエネルギー社会（自律・分散型エネルギー社会）の地域デザイン
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ゲル充填マイクロ孔アレイによる微生物の高密度単離培養
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表面増強ラマン分光法のための金粒子配列ナノチャンネルの作製
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歪を抑制したダイヤフラムを有するPZT音響エネルギーハーベスタ
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植物末端の樹液流量の測定を目指した超小型道管流センサ
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MEMS のオープンコラボレーション
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A Fully Passive Implantable Device for Monitoring Intraocular Pressure
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立体培養細胞マニピュレーションのための水圧アクチュエータの設計
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CMOS製造の革新的な誘電泳動チップを用いた細菌捕獲の応用
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等温核酸増幅法を用いたSARS-CoV-2核酸簡易計測デバイスの創製
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膜型表面応力センサ(MSS)を用いたニオイによる微生物識別の可能性検証
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