コレクション: 部門大会:【E】センサ・マイクロマシン部門
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金属アシスト化学エッチングを用いた3次元単結晶シリコン加工の安定化
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PF-POF のドライエッチングによるモード間干渉に基づくひずみ感度の向上
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電流検出型表面プラズモン共鳴センサのAu/n-Si Schottky界面における拡散の影響
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ナノスパイアを用いた絶縁層貫通式接続機構の実現
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温度差5℃での熱電発電で回転機予兆診断向け無線センサ端末を駆動可能とする室内光・熱ハイブリット環境発電エネルギーマネジメント回路
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原子時計用MEMSガスセルの量産化を目指した製造・評価技術の新規提案と試作
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チューブ端面にレンズと円周状電極を配置した内視鏡併用型神経電極
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脳内Mg2+計測に向けた刺入型マルチイオンイメージセンサの製作と評価
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窒化チタンを堆積したCMOSイメージセンサのイオン計測特性の評価
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ウェアラブル汗中成分計測システムへの応用を目的としたセンサ挿入型汗収集デバイスの開発
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3次元応力イメージセンサの出力感度向上のための構造体形状の検討
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CMOSマルチケミカルイメージセンサの空間分解能向上のための感応膜形成プロセスの提案と実証
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熱対流抑制マイクロ環境によるシリカ粒子の連続的な光駆動システム
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散逸粒子動力学法を用いたマイクロ流路内の溶液混合シミュレーション
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磁性粒子内包液滴アレイの垂直融合分離による磁気物性の可視化
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金属錯体含有タンパク質の合成と結晶化に向けた液相固相両用マイクロ流体デバイスの開発
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マイクロパターン化した自己組織化エレクトレットの表面電位と膜厚の関係の実測評価
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四象限バイモルフ切り紙薄膜を用いた多自由度・大変位熱駆動MEMSアクチュエータの開発
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積み木式実装による3軸化ジャイロ
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AI駆動ACナノポア法によるフェノタイプ型微生物センシングシステムの開発
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微小量生体液の粘度および電気伝導度計測に向けた不織布流路デバイスの開発
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Pd系金属ガラスメンブレンによる高破壊靭性MEMSマイクロフォンの開発
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完全吸収メタマテリアルを用いた土壌pH ワイヤレスモニタリングセンサ
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ウシのストレスモニタリングを目的とした脈波測定方法の確立
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Sensor Tag Using Patch Antenna with Adjustable Air Gap for Wireless Displacement Sensing
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MEMSピンセットを用いた遺伝子導入したがん細胞の機械特性と遺伝子発現レベルの相関評価
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微小液滴の単一細胞封入効率の改善に向けたマイクロ流体デバイスの検討
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チャンバアレイを集積したマイクロ流体デバイスによる成分分離の性能評価
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電気抵抗率測定のための紙媒体マイクロ流体チップの流動解析
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脳,脊髄ニューロン計測に向けたフレキシブル基板マイクロニードル電極の製作
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Covid-19の特異検出に向けたグラフェン上のバイオインタフェイスの検討
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神経伝達物質を検知するテラヘルツ波バイオセンサーの開発
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手指骨折治癒度可視化に向けた環状配置多電極生体インピーダンス法
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光導波路付き極低侵襲針の壁面窓を用いた乳酸濃度計測
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セルフパワード型ウェアラブル咬合力センサの開発
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