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超臨界流体プロセスに基づいたカーボンナノチューブ―銅の複合形成
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ラピッドプロトタイピングの創作と特許
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触知のための静電容量方式触覚センサの提案と性能評価
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臨床肺機能検査のための肺気道音響インピーダンス直接測定法の基礎的検討
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東日本大震災での教訓と津波研究の最前線
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集積回路基板への異種デバイスの選択的トランスファ
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Ne高速原子ビームの平滑化効果を援用したSiウエハーの常温接合
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Si/Polymerヒンジを組み合わせた2軸Hybrid-MEMSミラー
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高出力半導体レーザの高放熱構造をめざしたGaAs/SiC常温接合に関する研究
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消化管内走行カプセルの機構・回路実装
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スパッタPZT薄膜の微細加工およびMEMSへの応用
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SAMトランスファー法を用いた薄膜キャパシタ構造の樹脂への転写技術の確立
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インピーダンス分布センサー付きオムツによる新規尿流量測定システム
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レーザレーダを用いた白線認識システム
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バイナリー振動を示す非線形結合シリコン振動子
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内部応力を利用した PZT 薄膜キャパシタの剥離,転写技術に関する研究
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コンビナトリアルスパッタ法によるPZT薄膜の組成最適化
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熱機械駆動スイッチを組み合わせた強誘電体熱電変換素子
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赤外線イメージセンサに向けたエピタキシャルPZT薄膜センサとJFET混載MOS一体化プロセスの開発
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低消費電力心拍抽出ディジタルASIC
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陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ
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可動MEMSデバイスへの光学素子自動アライメント技術
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位置検出機能を内蔵した超小型慣性駆動アクチュエータの検討
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熱応答性流体バルブを集積一体化した圧力駆動アクチュエータ
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動的駆動を利用した低駆動電圧MEMSスイッチの信頼性評価
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PDMSを用いた液圧駆動型可変焦点レンチキュラーレンズ
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化学溶液法を用いたジルコン酸鉛(PZT)厚膜の作製と圧電特性評価
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SMAワイヤを用いた低侵襲医療用能動屈曲機構
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高感度化学分析のための電流直接増幅型レドックスセンサの製作
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ナノロボットを利用したバイオセンシングシステムの構築
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2本鎖DNAへの特異的な金属被覆によるナノワイヤの形成とその電気的特性の評価
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細胞由来リポソームを用いたGPCR－リガンド結合のQCM計測
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圧電ダイアフラム型共振周波数可変超音波センサのポーリングによる感度と周波数制御性の向上
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呼気吸気計測を目的とした自己温度補償型カテーテル流量センサの開発
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ゾルゲルPZT圧電膜の高スループット成膜技術
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