コレクション: 部門大会:【E】センサ・マイクロマシン部門
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変調信号を用いた半導体式ガスセンサの温度制御手法の提案とこれによる単一素子でのガス識別
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マススペクトルデータと機械学習を用いた匂い印象予測モデルの性能向上
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シリカ微粉末を用いたエレクトレットとそれを用いた超音波センサの特性評価
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植物栽培のための光ファイバ多点箇所分光計測システム
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イオンゲルと超柔軟ナノ薄膜を用いた高通気性・透明温湿度センサの開発
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ヘテロコア光ファイバセンサによる血圧計測方法の検討
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使い捨てアンテナ電極を用いた自己容量型センサによる離床動作検出
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クラフトビールの保存条件によるオフフレーバーの発生とその評価
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茎内水分量変動計測センサの温度による挙動解析
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圧電センサと深層学習を用いた重心検出システムの高精度化・実用化
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電界集中型水晶複素容量センサによる皮膚内部イメージングシステムの開発
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Al?O?絶縁薄膜を用いた静電型触覚ディスプレイに関する基礎検討
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Feed-back control of PZT actuator with built-in buried piezoresistors
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濃度と方向の平均を考慮した昆虫触角搭載ドローンのための匂い源探索アルゴリズム開発
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シリコンハードマスクを用いたステンレス鋼のドライエッチング
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PDMSナノシートを用いたプラズモニックカラーシートの作製
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MEMS応用に向けたNd-Fe-B系厚膜磁石の開発
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超小型モータへの応用を鑑みた厚膜磁石の開発
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アモルファスシリコンを用いた超薄型アキシコンメタレンズの開発
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MEMSマイクロロボットに用いる剣形脚部の検討
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任意形状表面に形成可能な配向サマリウムコバルト厚膜磁石
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複眼イメージング用Alvarezメタレンズに関する研究
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感温塗料薄膜を用いた熱流センサー
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エピタキシャル加工を用いた可視光イメージセンサ用光ガイド構造の開発
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マイクロスケール衝撃波圧縮機構のための垂直衝撃波の可視化
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立方弾性異方性固体中のき裂先端応力場の特異性
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マイクロスケール遠心ウェーブロータの空力性能の実験検証
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AlGaN/GaN/Si 構造を利用した MEMS デバイスの作製プロセスの検討
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Ⅲ族窒化物半導体湾曲片持ち梁構造を利用した MEMS デバイスの構造解析
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反応性スパッタリング法で成膜したSiN膜を用いたMEMSプロセスの検討
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真空アーク蒸着法を用い作製したNd-Fe-B系磁石膜の特性向上
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極薄PTFE層を有するワイヤ電極の電荷保持特性とエレクトレットセンサへの応用
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冷却型熱式オンチップ流量センサ
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表面処理を用いないシクロオレフィンポリマー流体デバイスの封止方法
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水晶発振回路式複素容量センサを用いた金エッチングの 非接触エンドポイントディテクター
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ウエハレベルパッケージ技術による低侵襲医療用極小3軸MEMS触覚センサの作製
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