コレクション: 部門大会:【E】センサ・マイクロマシン部門
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土中水分量・イオン濃度計測のためのチョッパ増幅器を用いたインピーダンス計測回路システムの開発
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光で遠隔操作可能な3Dプリンテッド・マイクロマニュピュレーターの開発
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匂いセンサシステムによる人の行動検知
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栽培環境データに基づく植物生体電位応答の時系列データ解析
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MEMS触覚ディスプレイのためのSMA厚膜によるせん断動作機構の形成および動的特性評価
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MEMSピンセットによる接着細胞の剥離・把持・搬送
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DMA溶液を用いた圧電PVDFフィルムのウェットエッチング特性に関する研究
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F7000S-VD02キャラクタープロジェクション法を用いた12 nm八角形パターンの精密位置制御電子線描画に関する初期検討
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量子センサーのためのCs原子マイクロセル分光
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フッ素添加酸化スズを陰極に用いたマイクロ流体有機ELの試作
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窒化シリコン柱を用いた可視域用ガウシアン-トップハット型ビーム整形メタサーフェスレンズ
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小型原子時計用光学セルのためのメタサーフェス偏向素子の開発
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細胞多様性に対応した細胞保持力強化オプトポレーション法の開発
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AlInN層の選択エッチングによるⅢ族窒化物半導体MEMSデバイス作製の検討
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高アスペクト比の微細フィン構造を有した高感度ロボットハンド用すべり覚センサの開発
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クワッド質量共振器でリサージュモード制御を使用したローレンツ力MEMS磁力計
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真空アニールしたMEMS振動発電素子用カリウムドープSiO2エレクトレットの 寿命に対するH2OとH2の影響
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ナノギャップデバイスによる真空度測定の検討
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AlGaN/GaN/Si基板を用いた湾曲片持ち梁構造の作製に適したエッチングマスクパターンの検討
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室温形成したBaTiO3厚膜の振動発電特性
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Simultaneous poling of multiple piezoelectric devices
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流路内液滴移動によるインピーダンス制御用液滴材料の検討
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銀ナノワイヤ/グラフェン多層膜の積層によるフレキシブル透明電極の高性能化
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レーザ蒸着法によるSm-(Fe,Co)系厚膜磁石の開発
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スパッタ法によるSm添加PMN-PTのSi基板上へのエピタキシャル成長
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スパッタSiON膜を用いたMEMS圧力センサの作製と特性評価
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ストレッチャブルデバイス基板のRoll-to-Roll生産プロセスの開発
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酸化物型リチウムイオン全固体電池のオンチップ集積プロセスの開発
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CMOSスマート電極アレイを搭載した薄膜・セラミック複合人工視覚デバイスの開発
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豊富な血管内皮細胞を含む腎臓オルガノイドと血管床との共培養
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高精度な経上皮電気抵抗計測のためのトポロジー最適化による電極設計
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ガス拡散シミュレータを用いたガス源探索アルゴリズムの開発―粒子フィルタに対する変更による乱れの大きな屋外環境への対応―
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乳酸,カリウムイオン,pHを同時に可視化可能なマルチケミカルセンサの製作
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ガス透過特性可変素子への交流電圧印加によるガス透過特性制御
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