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交差ガス流を用いた大気圧直流グロー・マイクロ放電の不安定現象
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二相化大気圧MCS放電とその並列動作特性に関する研究
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並列MCS放電を用いたオゾン生成に関する研究
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電磁解析コードを用いた大気圧マイクロ波プラズマ・ジェット用ノズルの最適化
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微細電解質溶液流を用いた大気圧直流マイクロプラズマの生成とその応用
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予混合炭化水素燃焼炎への静電放電重畳効果
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電気流体力学流発生における電子の影響
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液中微小ギャップのパルス放電と微細放電加工への応用
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水中気泡内直流放電による水中有機フッ素化合物の分解
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倫理委員会の活動とPDCAならびにシンポジウムについて
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水上パルス放電を用いた酢酸の分解における繰返し周波数の影響
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環境に優しいプロセス容器プラズマクリーニング法の開発
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熱量測定法を用いたデュアルプラズマ法の絶縁物表面処理への適用性の検証
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マグネトロンスパッタ源を用いたシリコン基板上への窒化アルミ薄膜の製作
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Preparation of AlN thin film by pulse laser deposition for FBAR application
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ＮＬＤプラズマの解析(V)?電磁界中のイオン運動の解析
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NLDプラズマの解析(IV)?電子エネルギー利得位置分布とエッチャント生成位置分布
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マイクロ波放電酸素プラズマの解離度に対する希ガス混入効果のアクチノメトリー測定
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PMITPを用いたTiO2ナノ粒子生成時における反応器内放射スペクトル変化
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C8F18プラズマCVDにより堆積されたa-C:F膜の熱耐性評価及び投入電力の最適条件
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トーチ下流にN2およびH2ガスを導入した変調誘導熱プラズマによる高速窒化実験
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Balmer α軟X線レーザの発振に向けた窒素プラズマの分光計測
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プラズマフォーカス装置から発生するプロトンビームの特性評価
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新しい材料合成・加工の反応場としてのソルーションプラズマ
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放電による液体中の硝酸還元等の化学反応促進
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各種電極系を用いた水中放電特性と水処理への応用
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回転磁場による生成プラズマを用いたEUV光の発生
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プラズマ合体装置における磁気リコネクションと低周波波動の励起
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トカマク-ヘリカル混成プラズマ閉じ込め装置TOKASTAR-2の開発
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コンパクトプラズマ装置AIT-PIDを用いたタングステン-ヘリウム PWI研究
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パルス変調誘導熱プラズマによるナノ粒子選択生成のための原料供給のパルス化
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コンパクト装置AIT-PIDにおけるプラズマ生成特性
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ツイントーチプラズマの温度分布計算
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高強度パルスイオンビーム源としての真空アークプラズマガンの特性評価
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Ar-He混合GTAにおける母材溶融を考慮した入熱密度の数値シミュレーション
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フィードバック制御型変調誘導熱プラズマ炉の温度追随特性
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