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生分解可能な環境センシングの為の水溶性メタマテリアルプローブ
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多孔質酸化亜鉛を利用した水の蒸発発電
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SMSウェハレベル真空封止技術のためのサブミクロンリリースホールを介したベーパーHF犠牲層エッチングの研究
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反応性スパッタリング法による光導波路用SiCO薄膜における光学的特性,機械的特性のガス圧依存性に関する実験的考察
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MEMS工学設計のための半導体ピエゾ抵抗材料の選択
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エレクトレットセンサを用いた発酵時に生じるアコースティック・エミッションの検出
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バルク水晶ジャイロの基本特性
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シリコン貫通格子の細線化
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肌表面の質感を高分解能で計測可能な防塵防滴構造を有するナノ触覚スキャナー
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デアロイによる金属ナノポーラス構造とイオンゲルのスーパーキャパシタへの適用
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布電極を用いた筋電計測ウェアの高感度化に関する研究
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地震観測データを用いたランナーの検出
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排出可能な牛のルーメンセンサのための密度可変デバイスの検討
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プラズモニック・ナノタグによる偽造防止技術とその応用
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音響信号を用いた呼気成分計測法の検討
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気管支オルガノイドへのSARS-CoV-2感染が血管内皮細胞に引き起こすアクチンフィラメントの配向性変化
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フィルターフリー波長センサによる小型LSPRウイルス検出システムの提案と実証
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二重拡散well構造を有するフィルタフリー波長検出センサの検証と応用
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バイポーラクラーク型酸素電極アレイと抗生物質の有効性評価への応用
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窒化シリコンを用いた高透過率メタサーフェスカラーホログラム
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発電しながら位相情報を観測できるMEMS振動発電素子
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(100)単結晶シリコンを用いた多重リング型モードマッチ振動子
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PZT MEMS Varifocal Lens using Gel or Liquid as Optical Media
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不連続な Au 回折格子を用いた電流検出型 SPR センサ
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片持ちはり振動型エナジーハーベスタのためのマイクロローディング効果を利用した応力集中緩和構造
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プラズモニック超小型分光素子のための静電変調機構
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モノリシック集積コアシェルSiナノワイヤ架橋構造の熱起電力評価
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「温もり」を含めた素材の触質感を弁別可能な冷温覚集積型ナノ触覚センサ
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ニューロン計測用PMOSバッファアンプの製作とマウス脳計測評価
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初期ひずみを持つダイアフラム構造の非線形周波数特性の簡易的予測
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単層フォトレジストによる 1 μm 線幅リフトオフプロセスの評価
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局所測定に対応した水晶発振回路式複素容量センサの開発
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原子層堆積Al2O3誘電膜のエレクトレット化に関する研究
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1方向磁界駆動を可能とする電磁駆動2軸MEMSスキャナ
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マウス脳多チャンネル計測に向けた小型無線デバイスの作製
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