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スパッタPZT薄膜の微細加工およびMEMSへの応用
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SAMトランスファー法を用いた薄膜キャパシタ構造の樹脂への転写技術の確立
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インピーダンス分布センサー付きオムツによる新規尿流量測定システム
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レーザレーダを用いた白線認識システム
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バイナリー振動を示す非線形結合シリコン振動子
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内部応力を利用した PZT 薄膜キャパシタの剥離,転写技術に関する研究
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コンビナトリアルスパッタ法によるPZT薄膜の組成最適化
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熱機械駆動スイッチを組み合わせた強誘電体熱電変換素子
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赤外線イメージセンサに向けたエピタキシャルPZT薄膜センサとJFET混載MOS一体化プロセスの開発
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パターン解析のための信号圧縮と再構成について
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低消費電力心拍抽出ディジタルASIC
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陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ
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可動MEMSデバイスへの光学素子自動アライメント技術
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位置検出機能を内蔵した超小型慣性駆動アクチュエータの検討
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熱応答性流体バルブを集積一体化した圧力駆動アクチュエータ
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動的駆動を利用した低駆動電圧MEMSスイッチの信頼性評価
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PDMSを用いた液圧駆動型可変焦点レンチキュラーレンズ
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レーザーを用いた鋼板接着高架橋の遠隔検査技術開発
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化学溶液法を用いたジルコン酸鉛(PZT)厚膜の作製と圧電特性評価
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SMAワイヤを用いた低侵襲医療用能動屈曲機構
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高感度化学分析のための電流直接増幅型レドックスセンサの製作
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脳波による女性のストレスの検出
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ナノロボットを利用したバイオセンシングシステムの構築
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2本鎖DNAへの特異的な金属被覆によるナノワイヤの形成とその電気的特性の評価
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電子機器を開発するために何が必要か?
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細胞由来リポソームを用いたGPCR-リガンド結合のQCM計測
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圧電ダイアフラム型共振周波数可変超音波センサのポーリングによる感度と周波数制御性の向上
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呼気吸気計測を目的とした自己温度補償型カテーテル流量センサの開発
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ゾルゲルPZT圧電膜の高スループット成膜技術
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イオン性液体を用いたフレキシブル三軸力センサ
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Fe-B-Nd-Nb磁性金属ガラス薄膜を利用した非接触型電流センサの開発
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Cr-Nひずみゲージ薄膜を用いた荷重ベクトルセンサとその応用
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バースト解析を用いたサイト流入に貢献したクエリの評価
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単一MEMSセンサ素子による近接覚・触覚計測手法の検討
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A Long Bar Type Silicon Resonator with a High Quality Factor
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