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対極と作用極を同材料としたマイクロアレイ型電気化学センサに関する研究
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飲料評価用無機膜味覚センサの電気的特性がセンサ応答へ及ぼす影響
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UV光照射時のSnO2-TiO2ガスセンサの膜構造と感度特性
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植物生体電位を用いたエダマメの水ストレス評価に関する研究
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2次元SERSセンサによるガス源の識別と可視化
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多種類ガス分布の高速・高精度推定のためのAu/Ag LSPRセンサの開発
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絶縁性ナノ粒子薄膜による液体蒸気の検出:構造異性体識別への検討
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真空蒸着(101)優先配向SnO2薄膜の作製と諸特性の評価
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光学積層膜における偏光干渉を利用した広濃度対応型水素ガスセンサの開発
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圧電MEMSセンサにおける座屈ダイアフラム上圧電薄膜の構造的引張負荷歪みとその低減プロセスの検討
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多端子MOSFETによる回路動作の「その場」計測
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共振回路を備えたフィルムタイプ静電容量式近接センサによる呼吸信号測定
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水晶発振回路式複素容量センサによるRC構造体内部の非破壊センシング
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デジタルツインとARグラスを用いた大学内の リアルタイム環境センシングシステムのプラットフォーム構築
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血管内ガイドワイヤのための厚膜SU-8の円筒リソグラフィによる多軸フォースセンサ機構の形成
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肺組織機能評価を目指した物理化学量センサシステムの開発
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乳癌検出用触診デバイスの構造解析用生体モデルの検討
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パルス光伝導法を用いたシリコンウェーハ表層(SiO2/Si)における電気伝導度の不純物濃度依存特性
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質感検知に向けた指紋型表面触覚センサによるなぞり計測
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高分子ナノ膜を帯電層とした摩擦帯電発電の高出力化
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浴室監視のための超音波音線法シミュレーション手法
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MEMSスキャナを用いた空間周波数領域イメージングシステムの開発
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(100)シリコンの2段階異方性ウェットエッチングによる高密度電荷ガイド構造の作製
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Ga2O3/Seアバランシェフォトダイオードの時間応答性に関する研究
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オンチップ計測に向けた グラフェンMEMS共振質量センサとPIN PDの集積化デバイスの製作
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Non-linear Behavior of pMUT for High Sound Pressure Generation
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LIFT法を用いたネオジム系磁石膜の低温創製
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複数の液体金属セグメントの流路内同時位置制御を利用した静電容量スイッチング
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6-DOFマイクロアクチュエータの提案と開発
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樹脂コンパウンドの視覚・触覚複合計測のための光・温度検知素子集積化
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電解エッチング法を用いたチタン製マイクロメスの刃先形状の制御
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静電駆動単結晶シリコンMEMSミラーの1×2アレイ同期振動
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AIを用いた自動簡易細隙灯顕微鏡の開発
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ノボラック系ポジレジストを エッチングマスクに 使った PDMS パターニング
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DRIE終点非破壊検査のための側面接触式MEMSプローブ
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機械加工による濡れ性の変化とマイクロ流路への影響の検討
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